酸化錫粉末の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：久保山隆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000215482
Publication number (International publication number)：2002029744
Application date： Jul. 17, 2000
Publication date： Jan. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】スパッタターゲットに用いられる酸化錫焼結体の原料等として好適に用いることができ、一次粒子の凝集が少なく、粒度分布の狭い酸化錫粉末が合成可能な方法を提供する。【解決手段】BET比表面積より算出した粒径が0.05μm以上1μm以下であり、レーザー回折散乱法により測定した累積粒度分布の微粒側から累積10%、累積50%、累積90%の粒径をそれぞれD10、D50、D90としたとき、(D90-D10)/D50が2以下であり、D50が1μm以下である酸化錫粉末。錫塩水溶液とアルカリ溶液を反応させて錫含有沈殿を生成させ、該錫塩水溶液と該アルカリ溶液の反応液から錫含有沈殿を分離し乾燥した後に、該錫含有沈殿を焼成する酸化錫粉末の製造方法において、該錫塩水溶液が4価の錫イオンを含む錫塩水溶液であり、該錫塩水溶液とアルカリ溶液の反応をpHが0.5以上4以下の範囲で行い、該焼成を400°C以上1200°C以下の温度範囲で行う酸化錫粉末の製造方法。

Claim (excerpt)：

BET比表面積より算出した粒径が0.05μm以上1μm以下であり、レーザー回折散乱法により測定した累積粒度分布の微粒側から累積10%、累積50%、累積90%の粒径をそれぞれD10、D50、D90としたとき、(D90-D10)/D50が2以下であり、D50が1μm以下である酸化錫粉末。

IPC (2)：

C01G 19/02 , C23C 14/34

FI (2)：

C01G 19/02 B , C23C 14/34 A

F-Term (3)：

4K029BA47 , 4K029DC05 , 4K029DC09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

酸化物焼結体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-048146 Applicant：住友金属鉱山株式会社
特開昭60-046924
金属酸化物粉末およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-209211 Applicant：住友化学工業株式会社

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