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J-GLOBAL ID：200903001364964996

光記録媒体用マスタースタンパの製造方法

Inventor： 三東 剛 ,  湯浅 俊哉 ,  上高原 弘文 ,  菅田 裕之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994124672
Publication number (International publication number)：1995311983
Application date： May. 16, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 光記録媒体用基板作製用スタンパーのマスタースタンパを平面精度良く製造する方法を提供する。【構成】 ガラス基板3上にクロム4の薄膜を形成し、該クロム膜をフォトリソグラフィーを用いてエッチング処理してパタ-ンを形成した後、前記ガラス基板3側に紫外線硬化型接着剤2を用いて補強ガラス1を接着して裏打ち補強する光記録媒体用マスタースタンパの製造方法において、前記ガラス基板3と補強ガラス1を紫外線硬化型接着剤2を介して積層し、補強ガラス1側から紫外線7を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる光記録媒体用マスタースタンパの製造方法。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上にクロム膜を形成し、該クロム膜をフォトリソグラフィーを用いてエッチング処理してパタ-ンを形成した後、前記ガラス基板側に紫外線硬化型接着剤を用いて補強ガラスを接着して裏打ち補強する光記録媒体用マスタースタンパの製造方法において、前記ガラス基板と補強ガラスを紫外線硬化型接着剤を介して積層し、補強ガラス側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させることを特徴とする光記録媒体用マスタースタンパの製造方法。