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J-GLOBAL ID：200903001365830799

研磨用組成物及びそれを用いてなる金属材料の研磨方法

Inventor： 上田 和正 ,  竹内 美明
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999054728
Publication number (International publication number)：2000248265
Application date： Mar. 02, 1999
Publication date： Sep. 12, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 金属タンタルや窒化タンタル等の金属材料を高い研磨速度で研磨し得る研磨用組成物及び高い研磨速度で金属材料を研磨する方法を提供する。【解決手段】 金属タンタル又は窒化タンタル等金属材料の研磨方法において、酸化珪素からなる研磨砥粒、過酸化水素からなる酸化剤並びに炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム及び炭酸水素アンモニウムからなる群より選ばれた少なくとも1種である炭酸塩を含有し、残部が水である研磨用組成物を用いる。

Claim (excerpt)：

酸化珪素からなる研磨砥粒、酸化剤及び炭酸塩を含有し、残部が水である研磨用組成物。

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (4)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 622 D

F-Term (5)：

3C058AA07 ,  3C058CA04 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17