Pat
J-GLOBAL ID:200903001369569319

液状樹脂の脱泡方法およびその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992031287
Publication number (International publication number):1993200203
Application date: Jan. 23, 1992
Publication date: Aug. 10, 1993
Summary:
【要約】【目的】 装置を大型化することなく、液状樹脂の脱泡処理効率を大きくする。【構成】 内部が減圧された真空槽1内に設けられた回転テーブル31上には空の有底円筒状の容器3が収納されている。液状樹脂槽36に連結された液状樹脂供給パイプ33の一端部は容器3の内壁上部にほぼ接触されている。液状樹脂槽36内の液状樹脂2が液状樹脂供給パイプ33を介して容器3の内壁上部に供給されると、回転テーブル31と共に容器3が回転していることにより、容器3の内壁上部の全周に供給され、次いで容器3の内壁に沿って自然落下することにより、容器3の内壁全体に拡散され、この後容器3内に溜ることになる。そして、容器3の内壁全体に拡散された液状樹脂2の表面および容器3内に溜った液状樹脂2の表面に気泡が発生すると、この発生した気泡が真空槽1内との圧力差により弾けることにより、液状樹脂2が脱泡される。
Claim (excerpt):
減圧された真空槽内において有底円筒状の容器を回転させ、この状態で前記容器の内壁上部に液状樹脂を供給すると共に該内壁に沿って自然落下した後前記容器内に溜った液状樹脂を撹拌することを特徴とする液状樹脂の脱泡方法。
IPC (6):
B01D 19/00 101 ,  B01D 19/00 102 ,  B05C 11/10 ,  B29B 7/84 ,  H01L 21/56 ,  B05D 3/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭49-028969
  • 特開昭63-319009

Return to Previous Page