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J-GLOBAL ID：200903001407391294

層状結晶構造酸化物の製造方法

Inventor： 長沢 直美 ,  町田 暁夫 ,  網 隆明 ,  鈴木 真之
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997076155
Publication number (International publication number)：1998273396
Application date： Mar. 27, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 大きな層状結晶構造酸化物の結晶を容易に製造する。【解決手段】 原料MのBi2 O3 とSrCO3 とTa2 O5 とを混合しBi2O3 をフラックスとして加え坩堝10に入れる。これを加熱炉20に挿入して融点以上の温度(例えば1350°C以上1500°C以下)で所定時間加熱し原料Mを完全に融解させる(第1の加熱工程)。そののち、融点よりも低い温度(例えば1000°C以上1300°C以下)で所定時間加熱し気化させる(第2の加熱工程)。加熱炉20は縦方向に温度勾配を有しており、坩堝10の上部側壁11aの温度は原料Mの加熱温度よりも低くなっている。これにより、坩堝10の上部側壁11aにBiとSrとTaとOとからなる層状結晶構造酸化物(化学量論的な組成式はBi2 Sr1 Ta2 O9 )の結晶が析出する。

Claim (excerpt)：

原料を加熱し気化させた気相から結晶を析出部において析出させることにより層状結晶構造酸化物を製造することを特徴とする層状結晶構造酸化物の製造方法。

IPC (9)：

C30B 29/22 ,  C23C 18/12 ,  C30B 23/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 39/24 ZAA

FI (8)：

C30B 29/22 D ,  C23C 18/12 ,  C30B 23/00 ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/316 X ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 39/24 ZAA B ,  H01L 27/10 651