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J-GLOBAL ID：200903001407675390

洗浄システム

Inventor： 四元 隆博
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001003758
Publication number (International publication number)：2002208581
Application date： Jan. 11, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】洗浄装置に異常が生じた場合であっても、不良品の発生をできる限り抑止することのできる洗浄システムを提供する。【解決手段】被洗浄体を洗浄処理する洗浄処理部2と、洗浄処理部2における洗浄処理に異常が生じたか否かを検出し、異常を検出した場合に異常発生信号を発生する異常検出部3と、異常検出部3からの異常発生信号を受けて、異常があった旨の通報を行う通報処理部(5,6)とを有する洗浄装置1と、洗浄装置1の外部にあって、通報処理部からの通報を受ける端末装置(7a,7b,8)とを有する。

Claim (excerpt)：

被洗浄体を洗浄処理する洗浄処理部と、前記洗浄処理部における洗浄処理に異常が生じたか否かを検出し、異常を検出した場合に異常発生信号を発生する異常検出部と、前記異常検出部からの異常発生信号を受けて、異常があった旨の通報を行う通報処理部とを有する洗浄装置と、前記洗浄装置の外部にあって、前記通報処理部からの通報を受ける端末装置とを有する洗浄システム。

IPC (2)：

H01L 21/304 648 ,  B08B 3/04

FI (2)：

H01L 21/304 648 H ,  B08B 3/04 A

F-Term (4)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201CD41