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J-GLOBAL ID：200903001411663045
基板搬送装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994303770
Publication number (International publication number)：1996162515
Application date： Dec. 07, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で搬送空間を小さくしかつ搬送時間をより短縮できる基板搬送装置を提供する。【構成】 基板搬送部4は、Y方向に並べて配置された複数のカセットCから基板Wを取り出し、X方向に並べて配置された複数の処理部に基板Wを搬送する装置において、複数のカセットCに沿ってY方向に延びる第1案内レール5と、第1案内レール5の端部から複数の処理部に沿ってX方向に延びる第2案内レール6と、第1案内レール5に沿って移動可能な第1移動台車7と、第2案内レール6に沿って移動可能な第2移動台車8と、第1移動台車7上に設けられ、第2移動台車8を第1移動台車7上にに乗り上げ可能に配置するための乗り上げレール10と、第2移動台車8に設けられ、基板WをY,Z方向及び垂直軸回りに回動可能に支持する基板搬送ロボットRBとを備えている。
Claim (excerpt)：
第1方向に並べて配置された複数のカセットのいずれか1つから基板を取り出し、第1方向と交差する第2方向に並べて配置された複数の基板処理部に基板を搬送する基板搬送装置において、複数のカセットに沿って第1方向に延びる第1案内レールと、第1案内レールの端部から複数の基板処理部に沿って第2方向に延びる第2案内レールと、第1案内レールに沿って移動可能な第1移動台車と、第2案内レールに沿って移動可能な第2移動台車と、第1移動台車と第2移動台車とのいずれか一方を他方に乗り上げ可能に配置するための乗り上げ手段と、前記乗り上げ可能な移動台車に垂直軸回りに回動可能に設けられ、基板を水平方向及び垂直方向に移動可能に支持する基板支持手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5)：
H01L 21/68
, B25J 5/02
, B65G 49/07
, H01L 21/02
, H01L 21/027
