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J-GLOBAL ID：200903001462685540

ウエハ外観検査装置

Inventor： 小笹 知彦
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 長谷川 和音
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994266561
Publication number (International publication number)：1996128961
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 オンライン運用を中断することなく、オフライン運用を行うことができるウエハ外観検査装置を提供する。【構成】ウエハ外観検査装置11は工程内搬送側に沿って順次並べられた第1、第2、第3のオンライン運用用カセットポート21a,21b,21cを具備し、観察者側には、オフライン運用用カセットポート24および2つの不良ウエハ用カセットポート25a,25bが順次並んでいる。オンライン運用用カセットポート21と、オフライン運用用カセットポート24および不良ウエハ用カセットポート25との間には、これらのカセットポートの列に対して略平行にウエハ搬送手段26が設けられている。さらに、顕微鏡ユニット47、表示パネル48および操作パネル49からなる検査部46を具備する。

Claim (excerpt)：

ウエハについて外観検査を行う検査部、工程内搬送ライン上を搬送されるウエハカセットが載置されるための、前記工程内搬送ラインに沿って設けられた、少なくとも1つのオンライン運用用カセットポート、観察者がウエハカセットを載置するための、前記観察者側に設けられた、少なくとも1つのオフライン運用用カセットポート、および、前記オンライン運用用カセットポートおよび前記オフライン運用用カセットポートに載置された前記ウエハカセットから前記ウエハを一枚づつ取り出しおよび収納し且つ前記ウエハカセットおよび前記検査部の間で前記ウエハを一枚づつ搬送するウエハ搬送手段を具備することを特徴とするウエハ外観検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/66