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J-GLOBAL ID：200903001483685892
エキシマレーザ装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
橋爪 良彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991352803
Publication number (International publication number)：1993167134
Application date： Dec. 16, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 メインテナンスの容易化及び放電回路素子の長寿命化を達成したエキシマレーザ装置を提供する。【構成】 絶縁油タンク1内に、放電回路素子の内、少なくとも充電用コンデンサC1と、放電スイッチThと、可飽和リアクトルLsとを油漬すると共に、該絶縁油タンク1と、他の絶縁油回路2とをモジュール化する構成とした。
Claim (excerpt)：
絶縁油タンク1内に、放電回路素子の内、少なくとも充電用コンデンサC1と、放電スイッチThと、可飽和リアクトルLsとを油漬すると共に、該絶縁油タンク1と、他の絶縁油回路2とをモジュール化した構成を特徴とするエキシマレーザ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/04 G
