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J-GLOBAL ID：200903001488273037

製造装置および製造方法

Inventor： 牛島 満 ,  飽本 正己 ,  平河 修 ,  木村 義雄
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993342572
Publication number (International publication number)：1995176589
Application date： Feb. 07, 1989
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 処理工程を必要に応じて選択的に変更が可能で、処理のスループットを向上させる。【構成】 被処理体を一枚毎にアライメントするアライメント手段に前記被処理体を搬送する第一の搬送アームと、前記アライメント手段の被処理体を受け取って共通搬送路に沿ってX方向に移動可能な被処理体の搬送を行う第二の搬送手段と、前記共通搬送路に沿って両側に対向して配置された複数の処理室とを備え、前記第一の搬送手段は、前記各処理室に対向して位置決めされ、前記被処理体を前記各処理装置へ搬送する。

Claim (excerpt)：

被処理体を一枚毎にアライメントするアライメント手段に前記被処理体を搬送する第一の搬送アームと、前記アライメント手段の被処理体を受け取って共通搬送路に沿ってX方向に移動可能な被処理体の搬送を行う第二の搬送手段と、前記共通搬送路に沿って両側に対向して配置された複数の処理室とを備え、前記第一の搬送手段は、前記各処理室に対向して位置決めされ、前記被処理体を前記各処理装置へ搬送することを特徴とする製造装置。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/00 ,  B65G 1/00 547 ,  H01L 21/027