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J-GLOBAL ID:200903001494252726

液晶表示装置とその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): クオンタ・ディスプレイ・ジャパン株式会社
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003109730
Publication number (International publication number):2004317685
Application date: Apr. 15, 2003
Publication date: Nov. 11, 2004
Summary:
【課題】従来の製造工程数を削減した製造方法では製造裕度(マージン)が小さく歩留が低下する。【解決手段】半導体層の島化工程とエッチストップ層の形成工程をハーフトーン露光技術の導入により合理化する新規技術と、公知技術であるソース・ドレイン配線の陽極酸化工程にハーフトーン露光技術を導入することで電極端子の保護層形成工程を合理化する新規技術と、公知技術である絵素電極と走査線とを同時に形成する合理化技術との技術の組合せによるTN型液晶表示装置とIPS型液晶表示装置の4枚マスク・プロセス、3枚マスク・プロセス案を構築する。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
チャネル上に保護絶縁層を有し、ソース・ドレイン配線材とは異なった導電性材質よりなるソース配線の電気的接続領域の一部を含んで形成されたソース・ドレイン配線上に感光性有機絶縁層が形成されていることを特徴とするボトムゲート型の絶縁ゲート型トランジスタ。
IPC (4):
G02F1/1368 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/786
FI (5):
G02F1/1368 ,  G02F1/1335 505 ,  G02F1/1343 ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/78 616V
F-Term (76):
2H091FA02Y ,  2H091GA02 ,  2H091GA03 ,  2H091GA13 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30 ,  2H092GA12 ,  2H092GA14 ,  2H092GA24 ,  2H092GA40 ,  2H092GA48 ,  2H092GA51 ,  2H092JA26 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB56 ,  2H092JB57 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA18 ,  2H092KA22 ,  2H092KB24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA24 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA02 ,  2H092PA08 ,  5F110AA16 ,  5F110AA21 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE24 ,  5F110EE25 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HM19 ,  5F110NN01 ,  5F110NN04 ,  5F110NN12 ,  5F110NN16 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN38 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02

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