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J-GLOBAL ID：200903001507568736
光導波路センサ及び測定方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995271859
Publication number (International publication number)：1997089759
Application date： Sep. 26, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】 可動部なしで屈折率の高感度測定が行える光導波路センサを提供する。【解決手段】 基板11と、基板11の表面に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した光導波路12と、光導波路12表面上に形成した導波光損失の手段13とを備えた。又、基板11と、基板11の表面に形成した第1の導波路12と、導波路上に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した第2の導波路12Aとを備えた。更に又、前記第2の導波路12A上に更に他の薄膜コート層15を備えた。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板の表面に形成した高屈折率の薄膜材料で形成した光導波路と、該光導波路表面上に形成した導波光損失の手段とを備えたことを特徴とする光導波路センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/17 B
, G01N 21/41 Z
