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J-GLOBAL ID：200903001513369389
遠心乾燥機
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
櫻井 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995041357
Publication number (International publication number)：1996210773
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：
【要約】〔目的〕半導体ウエハなどの帯電防止を有効に行うことができる簡易・安価な遠心乾燥機を提供する。〔構成〕電動機によって回転せしめられるターンテーブル(1) と、このターンテーブル(1) の周辺部に軸(10)及び軸受(11)を介して回動自在に保持される金属製のクレードル(2) と、このクレードル(2) と接地点との間に形成される導電路(金属製の板バネ14等) とを備えている。
Claim (excerpt)：
電動機によって回転せしめられるターンテーブルと、このターンテーブルの周辺部に軸及び電気絶縁性の軸受を介して回動自在に保持される金属製のクレードルと、このクレードルと接地点との間に形成される導電路とを備えたことを特徴とする遠心乾燥機。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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