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J-GLOBAL ID：200903001518107536

パターン形成したセラミックスグリーンシートの製造法

Inventor： 岩永 慶二 ,  尾形 知彦 ,  正木 孝樹 ,  芳村 亜紀子
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997141513
Publication number (International publication number)：1998075039
Application date： May. 30, 1997
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】微細な導体パターンが可能となり、かつ低抵抗の導体パターンが得られ、セラミックス多層基板の内層導体の形成を可能にする。さらにセラミックス多層基板の小形化、高密度化を一層可能にする。【解決手段】フィルム上に感光性導電ペーストを用いてパターンの表面状態が表面粗さ試験においてRa≦3μmであるパターンを形成した後、該パターンをセラミックスグリーンシート上に転写することを特徴とするパターン形成したセラミックスグリーンシートの製造法。

Claim (excerpt)：

フィルム上に感光性導電ペーストを用いてパターンの表面状態が表面粗さ試験においてRa≦3μmであるパターンを形成した後、該パターンをセラミックスグリーンシート上に転写することを特徴とするパターン形成したセラミックスグリーンシートの製造法。

IPC (3)：

H05K 3/20 ,  C04B 41/88 ,  H05K 1/09

FI (3)：

H05K 3/20 A ,  C04B 41/88 P ,  H05K 1/09 D