Pat

J-GLOBAL ID：200903001539044682

レジスト膜画像の除去方法、及びそれに用いる感圧性接着剤あるいは接着シート類

Inventor： 並河 亮 ,  木原 康夫 ,  斎藤 潔 ,  相澤 馨 ,  下段 秀明
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992298828
Publication number (International publication number)：1994151301
Application date： Nov. 09, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、例えば、半導体集積回路装置の製造において、半導体基板上のイオンを注入された不要なレジストからなる画像を除去する方法、及びそれに用いる感圧性接着剤あるいは接着シート類を提供する。【構成】 レジスト材からなる画像が存在する半導体基板上に、マイクロカプセル化された、水あるいは水親和性化合物を含有する感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離する。

Claim (excerpt)：

レジスト材からなる画像が存在する半導体基板上に、マイクロカプセル化された、水あるいは水親和性化合物を含有する感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離することを特徴とするレジスト膜画像の除去方法。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  C09J 5/00 JHB ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKK ,  G03F 7/42