Pat

J-GLOBAL ID：200903001539730691

真空引き装置

Inventor： 茨木 誠一
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 菅沼 徹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995318478
Publication number (International publication number)：1997137786
Application date： Nov. 14, 1995
Publication date： May. 27, 1997
Summary：

【要約】【課題】 多段真空ポンプ10の設計圧力比を低減してそのコストを低減するとともにその消費動力を節減する。【解決手段】 被真空機器3と多段真空ポンプ10の各段1、2の入口とを結ぶ吸込管41、42と各段1、2の出口を大気に連通する吐出管61、62を設ける。そして、各吸込管41、42に開閉弁51、52を介装するとともに前段1の出口を後段2の入口又は大気に選択的に連通させる切換弁8、9を設けた。

Claim (excerpt)：

被真空機器と多段真空ポンプの各段の入口とを結ぶ吸込管と各段の出口を大気に連通する吐出管を設け、上記吸込管に開閉弁を介装するとともに上記多段真空ポンプの前段の出口を後段の入口又は大気に選択的に連通させる切換弁を設けたことを特徴とする真空引き装置。

IPC (3)：

F04C 23/00 ,  F04B 37/16 ,  F04C 25/02

FI (4)：

F04C 23/00 D ,  F04B 37/16 E ,  F04B 37/16 D ,  F04C 25/02 B