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J-GLOBAL ID:200903001548068039

交流カロリメトリによる熱定数測定方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 北村 欣一 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993246970
Publication number (International publication number):1995103921
Application date: Oct. 01, 1993
Publication date: Apr. 21, 1995
Summary:
【要約】【目的】 厚さ一定の薄い試料の熱拡散率、熱伝導率及び比熱容量が加熱する交流電力の周波数や試料の厚さを選ばずに比較的容易に且つ高い精度で測定することができる熱定数測定方法及び装置を得る。【構成】 薄膜試料3の一方の表面に交流加熱用金属膜抵抗4を、他方の表面に温度センサ用金属膜抵抗5を夫々付着し、該試料3をこれと同一材質から成る第1及び第2の媒質1、2で挾み、前記抵抗4に種々の周波数の交流電力を順次加えて加熱し、温度センサ13で検出した試料3の抵抗4付着側表面の交流温度信号と抵抗5から得られた交流温度信号をロックイン増幅器14を介してコンピュータ16に入力し、これらの信号と加熱用交流電力から熱拡散率、熱伝導率等を算出する。
Claim (excerpt):
厚さが一定の薄い被測定試料の一方の表面に交流加熱用金属膜抵抗を、他方の表面に温度センサ用金属膜抵抗を夫々付着し、該被測定試料をこれと同一材質から成る第1及び第2の媒質で挾み、前記交流加熱用金属膜抵抗に種々の周波数の交流電力を順次加えて被測定試料を加熱し、前記温度センサ用金属膜抵抗の抵抗変化による交流温度信号をロックイン増幅器で増幅し、前記交流電力の周波数の平方根に対する前記交流温度信号と前記交流電力との位相差の特性線の勾配を求め、該勾配から被測定試料の熱拡散率を算出し、被測定試料の交流加熱用金属膜抵抗付着側の表面の温度信号をロックイン増幅器で増幅し、該温度信号と前記交流電力と前記熱拡散率とから熱伝導率を算出することを特徴とする交流カロリメトリによる熱定数測定方法。
IPC (2):
G01N 25/18 ,  G01N 25/20

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