気体清浄化手段を有する搬送装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：吉嶺桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993056323
Publication number (International publication number)：1994252242
Application date： Feb. 23, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】各種汚染物質を除去して、清浄な空間を得ることのでき密閉可能な空間を有する搬送装置を提供すること。【構成】密閉可能な空間を有する搬送装置1において、該空間内に光電子放出材7と紫外線源6及び/又は放射線源と電極8とを有する気体清浄化手段を設けたものである。紫外線源6等の照射により発生する光電子10により、空間中の微粒子5が荷電微粒子11となり電極8で捕集される。

Claim (excerpt)：

密閉可能な空間を有する搬送装置において、該空間内に光電子放出材と紫外線源及び/又は放射線源と電極とを有する気体清浄化手段を設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B03C 3/04 , B65G 49/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-352343
特開平1-266864
特開平4-352343

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