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J-GLOBAL ID：200903001567127690

マイクロマシン用光電変換デバイス

Inventor： 伊豆 博昭 ,  榊原 孝久 ,  木山 精一 ,  津田 信哉
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996028034
Publication number (International publication number)：1997223808
Application date： Feb. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】 マイクロマシン内のアクチュエータ等に供給する電力を効率よく発電することができるとともに、光通信によるアクチュエータ等への制御信号を感度よく検知し制御性を高めることができ、しかも軽量化及び小型化を図ることができるマイクロマシン用光電変換デバイスを得る。【解決手段】 制御信号を検知するための光学センサとして結晶系シリコン光電変換素子10を設け、この上に該結晶系シリコン光電変換素子10の受光部4a領域を残すように、電力を供給するための光起電力素子として非晶質シリコン光電変換素子3を設けることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

マイクロマシンに照射される光によって制御信号が与えられ、かつマイクロマシンに照射される光を電気エネルギーに変換することにより電力が供給されるマイクロマシン用の光電変換デバイスであって、前記制御信号を検知するための光学センサとして結晶系シリコン光電変換素子が設けられ、この上に該結晶系シリコン光電変換素子の受光部領域を露出させて、前記電力を供給するための光起電力素子としての非晶質シリコン光電変換素子を設けたことを特徴とするマイクロマシン用光電変換デバイス。

IPC (2)：

H01L 31/04 ,  H02N 6/00

FI (3)：

H01L 31/04 Q ,  H02N 6/00 ,  H01L 31/04 B