Pat
J-GLOBAL ID:200903001567204768
感光性樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
萩野 平 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998184783
Publication number (International publication number):2000019724
Application date: Jun. 30, 1998
Publication date: Jan. 21, 2000
Summary:
【要約】【課題】 感度を低下させることなく、硬調な画像形成性を示し、特に、硬調で、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき、感光性組成物を提供する。【解決手段】 少なくともa.フルオロ脂肪族基、b.電子吸引性基に隣接した炭素原子に結合した水素原子を有する酸性基を有する高分子化合物を含有することを特徴とし、好ましくは、a.フルオロ脂肪族基を有する付加重合可能なモノマー、b.電子吸引性基に隣接した炭素原子に結合した水素原子を有する酸性基を有する付加重合可能なモノマーを共重合成分として有する。
Claim (excerpt):
少なくともa.フルオロ脂肪族基、b.電子吸引性基に隣接した炭素原子に結合した水素原子を有する酸性基を有する高分子化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
FI (2):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
F-Term (14):
2H025AA00
, 2H025AB03
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB52
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H096AA08
, 2H096BA10
, 2H096BA20
, 2H096CA03
, 2H096EA02
, 2H096GA08
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