板状物研削装置及び板状物研削方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000009149
Publication number (International publication number)：2001198814
Application date： Jan. 18, 2000
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】平面精度が要求される板状物の研削において、元来ある歪み及び研削中に生じた歪みを確実に除去できるようにする。【解決手段】板状物の支持面を支持する回転可能な支持テーブル21と、板状物の側部を支持する側部支持部材22とから構成される支持手段20が搭載され、側部支持部材22によって板状物を密着固定せずに支持することができる板状物研削装置を提供する。また、この板状物研削装置を用いて側部支持部材22によって板状物を密着固定せずに支持し、支持テーブル21を回転させながら回転する研削砥石を板状物の研削面に接触させて、板状物を所定の厚さに研削する板状物研削方法を提供する。

Claim (excerpt)：

板状物を支持する支持手段と、該支持手段に支持された板状物の研削面を研削する研削ホイールを備えた研削手段とから少なくとも構成される研削装置であって、該支持手段は、板状物の支持面を支持する回転可能な支持テーブルと、該板状物の側部を支持する側部支持部材とを含み、該側部支持部材は、該支持テーブルに固定され、該板状物を密着固定せずに支持する板状物研削装置。

IPC (2)：

B24B 41/06 , B24B 7/04

FI (2)：

B24B 41/06 L , B24B 7/04 A

F-Term (5)：

3C034AA08 , 3C034BB75 , 3C043BA03 , 3C043BA07 , 3C043BA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

研磨装置、研磨装置の被研磨材の保持方法、及び被研磨材の保持構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-146219 Applicant：ソニー株式会社
特開平2-036067
ディスククリーナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-029463 Applicant：株式会社共立

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