Pat
J-GLOBAL ID：200903001584661005
ワイヤソーの熱交換装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998164706
Publication number (International publication number)：2000000748
Application date： Jun. 12, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】ワイヤソーの運転停止時において、スラリを冷却する熱交換装置のパイプにスラリが固化して詰まるのを防止することができるワイヤソーの熱交換装置を提供する。【解決手段】本発明は、熱交換装置42のケーシング50の上蓋54にバルブ94、96を取り付け、このバルブ94、96によって、パイプ60A〜60Lを大気開放可能に構成する。ワイヤソー10を停止する際に、前記バルブ94、96を開いてパイプ60A〜60Lを大気開放すると、パイプ60A〜60L内のスラリが自重によって熱交換装置42から排出される。
Claim (excerpt)：
被加工物を走行するワイヤ列に押し付けて被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けられ、被加工物の切断部に供給されて回収された加工液を所定の温度に制御するワイヤソーの熱交換装置において、前記熱交換装置は、所定の温度に制御された熱媒体が供給されると共に、前記加工液を流す多数本のパイプがその内部に挿通配置され、これらのパイプの両端開口部を除いてその両端部がシールされたケーシングと、前記ケーシングの下端開口部に設けられると共に、前記回収された加工液を前記パイプに供給する供給室が形成された底蓋と、前記ケーシングの上端開口部に設けられると共に、前記パイプを通過した加工液を溜める貯留室が形成された上蓋と、前記上蓋に設けられ、前記貯留室を介して前記パイプを大気開放することができるバルブと、から成ることを特徴とするワイヤソーの熱交換装置。
IPC (2)：
FI (2)：
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
3C058AA05
, 3C058AA11
, 3C058AA16
, 3C058AC04
, 3C058BA08
, 3C058BB01
, 3C058BC02
, 3C058DA03
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB04
, 3C069CA04
, 3C069DA00
