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J-GLOBAL ID：200903001594045434

三フッ化窒素の除害方法

Inventor： 宮本 圭之 ,  佐枝 学
Applicant, Patent owner： 岩谷産業株式会社
Agent (1)： 北谷 寿一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992094725
Publication number (International publication number)：1993261247
Application date： Mar. 21, 1992
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 常温下で処理することのできるNF3の除害方法を提供する。【構成】 処理筒にニッケル触媒等の還元性金属触媒を細粒化して充填する。処理筒に充填した還元性金属触媒に水素を作用させて活性化させる。活性化した還元性金属触媒に三フッ化窒素含有ガスを常温下で接触させることにより、三フッ化窒素を分解させる

Claim (excerpt)：

処理筒に細粒化した還元性金属触媒を充填し、この処理筒に充填した還元性金属触媒に水素を作用させて活性化し、この活性化した還元性金属触媒に三フッ化窒素含有ガスを常温下で接触させることにより、三フッ化窒素を分解させるようにしたことを特徴とする三フッ化窒素の除害方法。