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J-GLOBAL ID：200903001621392044
高周波共振器の共振周波数調整方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995000626
Publication number (International publication number)：1996191208
Application date： Jan. 06, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 回路の実装面積を大きくすることなく、実際に製造工程上で精度よく共振周波数の調整を行うことができる高周波共振器の共振周波数調整方法を提供する。【構成】 第1の伝送線路LN10と、薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に積層することによって構成された少なくとも1つのTEMモードの第2の伝送線路LN1〜LN4とを備え、第1の伝送線路と第2の伝送線路を伝搬する電磁波の位相速度を互いに実質的に一致させるように各薄膜誘電体の膜厚と誘電率を設定し、最上層以外の薄膜導体の膜厚を使用周波数の表皮深さよりも薄くして、第1の伝送線路と第2の伝送線路の電磁界とが結合するように設定され、かつ所定の寸法の高周波伝送線路を備えた高周波共振器の共振周波数を、薄膜導体の膜厚を変更することにより調整する。
Claim (excerpt)：
第1の伝送線路と、薄膜導体と薄膜誘電体とを交互に積層することによって上記薄膜誘電体を挟設する1対の上記薄膜導体によって構成された少なくとも1つのTEMモードの第2の伝送線路とを備え、上記第1の伝送線路を伝搬する電磁波の位相速度と、上記第2の伝送線路を伝搬するTEM波の位相速度とを互いに実質的に一致させるように上記各薄膜誘電体の膜厚と誘電率を設定し、最上層以外の薄膜導体の膜厚を使用周波数の表皮深さよりも薄くして、上記第1の伝送線路の電磁界と、上記第2の伝送線路の電磁界とが互いに結合するように設定され、かつ所定の寸法を有する高周波伝送線路を備えた高周波共振器の共振周波数調整方法であって、上記薄膜導体のうちの少なくとも1つの薄膜導体の膜厚を、上記高周波共振器の共振周波数が所定の共振周波数になるように変更することにより共振周波数を調整することを特徴とする高周波共振器の共振周波数調整方法。
IPC (2)：
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