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J-GLOBAL ID:200903001627518325

静圧スライダ、非接触式チャック及びチャック装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 川口 光男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001265347
Publication number (International publication number):2003074554
Application date: Sep. 03, 2001
Publication date: Mar. 12, 2003
Summary:
【要約】【課題】 簡単な構造で軸受け剛性の高い静圧スライダを得る。【解決手段】 静圧スライダ1のスライダ本体2の底面3には、静圧発生用の多孔質体6を設けるとともに、真空引き用の吸引用溝10を設ける。多孔質体6の下面からはポート4からの加圧エアが噴き出して基準面Rとの間に静圧が発生する。その一方、吸引用溝10の下面のエアはポート9を介して吸引されるため基準面Rに対しスライダ本体2が引き寄せられる力(負圧)が発生する。この静圧と負圧とのバランスによって軸受け剛性が高められる。
Claim (excerpt):
スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部から加圧流体を噴出させることによって静圧を生成する静圧スライダにおいて、前記スライダ本体にはその静圧発生面側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部周辺の流体を吸引するようにしたことを特徴とする静圧スライダ。
FI (2):
F16C 32/06 A ,  F16C 32/06 B
F-Term (9):
3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA07 ,  3J102EA13 ,  3J102EA18 ,  3J102EB16 ,  3J102GA07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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