クリーニング終点検出装置およびクリーニング終点検出方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：後藤洋介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999336432
Publication number (International publication number)：2001152341
Application date： Nov. 26, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】反応室1の内壁等への付着物を除去するクリーニング処理の終点を精度よく検出できるクリーニング終点検出方法を提供する。【解決手段】クリーニング処理中に付着物の一部とクリーニングガスとの反応生成物ガスが気相中で反応してできたクラスター雲や、クラスター雲が生成された結果、付着物の残りの一部が付着力が弱くなって内壁から剥離した剥離パーティクル(剥離パーティクルのパーティクルサイズは、クラスター雲のパーティクルサイズより大きい)を含む反応室1に、レーザ光4を照射し、クラスター雲および剥離パーティクル2を、レーザ光散乱法で計測し、付着物がなくなってクラスター雲および剥離パーティクルが観測されなくなった時点をクリーニング処理の終点と判断する。

Claim 1：

反応室の内壁への付着物の除去を、前記反応室内にクリーニングガスを導入し、前記反応室内に前記付着物の一部と前記クリーニングガスとの反応によるクラスター雲を生成させると共に、前記付着物の残りの一部を前記内壁から剥離パーティクルとして剥離させ、前記クラスター雲および前記剥離パーティクルを前記クリーニングガスと共に前記反応室から排気することにより、行なう、クリーニング処理の終点を検出するクリーニング終点検出装置において、前記反応室内の前記クラスター雲および前記剥離パーティクルにレーザ光を照射し、前記クラスター雲および前記剥離パーティクルによる散乱レーザ光を生成させる照射手段と、前記散乱レーザ光を二次元画像情報として計測する計測手段と、前記二次元画像情報を基に、前記クリーニング処理の終点を判断する判断手段とを有することを特徴とするクリーニング終点検出装置。

IPC (3)：

C23C 16/44 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (3)：

C23C 16/44 J , H01L 21/205 , H01L 21/302 N

F-Term (14)：

4K030DA06 , 4K030FA10 , 4K030HA12 , 4K030KA08 , 4K030KA39 , 5F004AA15 , 5F004BD04 , 5F004CB09 , 5F004CB15 , 5F004DA01 , 5F004DA17 , 5F045AA03 , 5F045EB06 , 5F045GB15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

パーティクルモニタ付きプラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-272716 Applicant：日新電機株式会社
処理装置及びそのクリーニング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-315085 Applicant：富士通株式会社
プラズマクリーニング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-237459 Applicant：シャープ株式会社

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