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J-GLOBAL ID：200903001638926794

半導体3軸加速度・2軸角速度センサ

Inventor： 吉川 英治 ,  前中 一介
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  前中 一介
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999055203
Publication number (International publication number)：2000249719
Application date： Mar. 03, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 1つのセンサで加速度と角速度とを検出することができなかった。【解決手段】 4個の下部電極と可動電極との間で4個の可変容量を構成し,4個の上部電極と可動電極との間で4個の可変容量を構成し,平面内で直交する2つのx,y軸方向の加速度および前記x,y軸周りの角速度を検出するとともに,前記2つのx,y軸と互いに直交するz軸方向の加速度を検出するものである。

Claim 1：

各々ほぼひとつの平面を規定しかつ前記規定された平面が互いに平行でありかつ間隙をおいて設置された3つの導電層を有し,前記3つの導電層のうち,第1の導電層は表面に電気的絶縁層を有する基板に固定され,第2の導電層は前記第1の導電層の上に位置し変位が可能なように弾性体を介して前記基板に支持され,第3の導電層は前記第2の導電層の上に位置し前記基板に固定されており,前記第1の導電層が駆動電極と,半径の異なる複数個の円弧状電極を有する下部電極4個とを有し,前記第2の導電層が駆動電極と,半径の異なる複数個の円環状電極を有する可動電極と,弾性体とを有し,前記第3の導電層が半径の異なる複数個の円弧状電極を有する上部電極4個を有し,前記4個の下部電極と前記可動電極との間で4個の可変容量を構成し,前記4個の上部電極と前記可動電極との間で4個の可変容量を構成し,前記平面内で直交する2つのx,y軸方向の加速度および前記x,y軸周りの角速度を検出するとともに,前記2つのx,y軸と互いに直交するz軸方向の加速度を検出することを特徴とする半導体3軸加速度・2軸角速度センサ.

IPC (4)：

G01P 15/125 ,  G01P 3/483 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/00

FI (4)：

G01P 15/125 ,  G01P 3/483 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/00 K