Pat

J-GLOBAL ID：200903001655351274

露光装置用のフィルタ装置

Inventor： 萩原 茂
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994188341
Publication number (International publication number)：1996055774
Application date： Aug. 10, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特に紫外域の光を露光光として使用する露光装置用のフィルタにおいて、環境空気中から光学部材の白濁の原因となる不純物を所定の手段で除去し、その手段の寿命を簡便な方法により判定する。【構成】 空気取り入れ口に光学部材の白濁の原因となる不純物を除去するケミカルフィルタ42を設置し、更にそのケミカルフィルタ42の上流側にケミカルフィルタ42を通過する不純物の量に比例する不純物を吸着するガスセンサ43を設け、有害な不純物を除去した空気を露光装置の周囲に供給すると共に、ガスセンサ43の共振周波数を測定する周波数測定部54及び判定部58等によりケミカルフィルタ42の寿命を判定する。

Claim (excerpt)：

露光装置の周囲で所定方向に流れる気体用のフィルタ装置において、アンモニア、アミン系化合物、硫黄酸化物、及び珪素酸化物よりなる物質群から選ばれた所定の物質を前記気体から除去するフィルタ手段と、該フィルタ手段に対する前記気体の流入側で前記所定の物質を吸着する吸着体と、該吸着体に吸着される物質の量を計測する計測手段と、該計測手段による計測結果に基づいて前記フィルタ手段の寿命を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする露光装置用のフィルタ装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501

FI (2)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527