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J-GLOBAL ID：200903001669037629
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷 照一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997044214
Publication number (International publication number)：1998239066
Application date： Feb. 27, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】漏れ振動の影響をなくして、高精度で角速度を検出できるようにする。【解決手段】角速度センサ10の振動片12,13の断面形状を5角形にし、各外側面12d,12e,13d,13eに励振用圧電素子14a,14b,15a,15bをそれぞれ添着するとともに、各正面12a,13aに検出用圧電素子18,19をそれぞれ添着する。角速度「0」の状態で、励振用圧電素子14a,14b,15a,15bに等しい励振信号を付与して振動片12,13をX軸方向に励振させて、検出用圧電素子18,19によってY軸方向の漏れ振動を測定する。実際の角速度の測定の検出の際には、前記励振信号の大きさを前記測定した漏れ振動に応じて調整して、振動片12,13のY軸方向の漏れ振動をなくした状態で、振動片12,13のY軸方向の振動を測定することによりコリオリ力によるZ軸回りの角速度を検出する。
Claim (excerpt)：
振動片を第1の方向に励振する励振手段と、前記第1の方向と直交する第2の方向の前記振動片の振動を検出する振動検出手段とを前記振動片に設け、前記励振手段により前記振動片を前記第1の方向に振動させた状態で前記振動検出手段によって前記第2の方向の振動を検出することにより、前記第1及び第2の方向に共に直交する第3の方向に平行な軸線回りの角速度を検出する角速度センサにおいて、前記励振手段を、前記第1の方向からそれぞれ所定角度だけ前記第2の方向に傾いていると共に同第1の方向を挟む第4及び第5の方向に前記振動片をそれぞれ励振する第1及び第2の励振手段で構成したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
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