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J-GLOBAL ID：200903001686340572

レーザ反射鏡

Inventor： 中筋 護
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991219650
Publication number (International publication number)：1993063261
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 反射鏡としての性能を劣化させることなく形状を小型化する。【構成】 高純度アルミナセラミックスのブロック1の2面を鏡面研磨し、これら研磨面の表面に微小な凹凸を平坦化するためのアルミナの蒸着層2を堆積させ、この蒸着層2の表面に高反射率の高純度アルミニウム層3を堆積させる。

Claim (excerpt)：

セラミックスのブロックの少なくとも一面を鏡面研磨し、該研磨面の表面に高反射率の材料を堆積させた事を特徴とするレーザ反射鏡。

IPC (2)：

H01S 3/08 ,  G02B 5/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-065797
  
• 特開昭61-088033
  
• 特開平2-197812
  
• 特開昭59-087404