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J-GLOBAL ID：200903001687811455

粒子-光学装置における球面収差補正用の補正デバイス

Inventor： クレイン,マルセリヌス ペトルス カロルス ミカエル ,  ファン・デル・マスト,カーレル ディーデリック
Applicant, Patent owner： フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1999530409
Publication number (International publication number)：2001511303
Application date： Oct. 19, 1998
Publication date： Aug. 07, 2001
Summary：

【要約】電子-光学回転対称レンズは、しばしば解像度に制限を課す球面収差の問題が避けられない。上記レンズ欠陥は、回転対称場による補正により排除することができない。にもかかわらず、解像度を向上させるために、二つのヘキサポール(24、26)と二つの回転対称伝送レンズシステム(28,30)を有する補正デバイスにより、球面収差を補正することがすでに提案された。周知の補正デバイスにおける各伝送レンズシステムは、二つのレンズから成る。本発明によれば、一つ又は両方の伝送レンズシステムは、補正能力が減少することなしに(たった1つのシステム(30)が置き換わった際に)、若しくは僅かに補正能力を減少させて(両システム(28,30)が置き換わった際に)、単一レンズにより置き換えることが可能である。

Claim (excerpt)：

装置において粒子ビームにより照射されるべき対象を照射するように装置の光軸に沿って移動する電荷を帯びた粒子のビームを発生させる粒子源と、 電荷を帯びた粒子のビームを集束させる集束レンズと、 少なくとも二つのヘキサポールを有し、一方のヘキサポールを他方のヘキサポール上に像を写すように第一の像伝送レンズシステムをヘキサポール間に配置させた補正ユニットを含み、集束レンズのコマのない平面を補正ユニットの入口上に像を写すための第二の伝送レンズシステムをさらに含む集束レンズの球面収差補正用の補正デバイスとを含む粒子-光学装置であって、 第二の伝送レンズシステムは一つのレンズから成ることを特徴とする装置。

IPC (3)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01J 37/153 B ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/30 531 M