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J-GLOBAL ID：200903001716998179

ヒータユニット

Inventor： 二口谷 淳 ,  立川 俊洋
Applicant, Patent owner： 日本発条株式会社
Agent (8)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004024233
Publication number (International publication number)：2005216759
Application date： Jan. 30, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：

【課題】 ショートタイプのシャフト部を有するヒータユニットにおいて、ヒータプレートとシャフトボトム部との間に所望の温度差が得られるヒータユニットを提供する。【解決手段】 ヒータユニット11は、抵抗発熱体12を有するヒータプレート13と、ヒータプレート13の下面側に設けられた長さ20〜50mmのショートタイプの中空のシャフト部14とを有している。シャフト部14はアルミニウム合金からなる。シャフト部14の底面14cは、筐体10のヒータ取付部25に固定される。シャフト部14の底面14cと筐体10との間に、シール部材30が設けられている。シャフト部14の肉厚tは0.5〜5.0mmであり、シャフト部14の熱抵抗が0.4(K/W)以上となるように、シャフト部14の長さと伝熱面積および材質が選定されている。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

筐体の内部に収容され、発熱体を備えたヒータプレートと、 前記ヒータプレートの下面側に設けられた長さ50mm以下のショートタイプの中空のシャフト部であってその底面が前記筐体のヒータ取付部に固定されるシャフト部と、 前記シャフト部の底面と前記筐体のヒータ取付部との間をシールするシール部材とを具備し、 前記シャフト部の周壁の肉厚が0.5〜5.0mmであり、かつ、 該シャフト部の熱抵抗Rthが0.4以上となるよう該シャフト部の長さ、伝熱面積および材質を選定してなることを特徴とするヒータユニット。

IPC (4)：

H05B3/06 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H05B3/72

FI (4)：

H05B3/06 B ,  H01L21/02 Z ,  H05B3/72 ,  H01L21/30 567

F-Term (8)：

3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092RF03 ,  3K092RF09 ,  3K092SS04 ,  3K092TT17 ,  3K092VV04 ,  5F046KA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-326479   Applicant：日本碍子株式会社

Cited by examiner (2)

• サセプターの支持構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-029119   Applicant：日本碍子株式会社
• 半導体製造装置用保持体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-111515   Applicant：住友電気工業株式会社