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J-GLOBAL ID：200903001722047941

質量分析装置用イオン源

Inventor： 清水昌男 ,  三輪義彦 ,  柿田芳和
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002300276
Publication number (International publication number)：2004134321
Application date： Oct. 15, 2002
Publication date： Apr. 30, 2004
Summary：

【課題】ベースチャンバーとインナーチャンバーとの着脱が容易で、しかも、イオン化電流、エミッション電流、イオン化効率等の安定性、再現性に優れた質量分析装置用イオン源を提供する。【解決手段】真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源において、イオン化室と熱電子線を発生するフィラメントをインナーチャンバー側に配置すると共に、前記熱電子線を受け止める電子トラップをベースチャンバー側に配置した。また、前記ベースチャンバーとインナーチャンバーとの間の電気的接続は、通電ピンと円筒状バネの嵌合によって行なうようにした。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

真空容器内に配置され、内部でイオンを生成するインナーチャンバーと、このインナーチャンバーを着脱可能に固定・保持できるように作られたベースチャンバーとから成り、ベースチャンバーを真空容器内に残したまま、インナーチャンバーを真空容器外に取り出せるように構成された質量分析装置用イオン源において、 イオン化室と熱電子線を発生するフィラメントをインナーチャンバー側に配置すると共に、前記熱電子線を受け止める電子トラップをベースチャンバー側に配置したことを特徴とする質量分析装置用イオン源。

IPC (2)：

H01J49/14 ,  G01N27/62

FI (2)：

H01J49/14 ,  G01N27/62 G

F-Term (4)：

5C038GG01 ,  5C038GH02 ,  5C038GH11 ,  5C038GH17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭51-045583
  
• 特開昭57-202054
  
• 質量分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-217869   Applicant：株式会社東京カソード研究所
• 特開昭47-018394