基板受渡装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008012415
Publication number (International publication number)：2009176858
Application date： Jan. 23, 2008
Publication date： Aug. 06, 2009
Summary：

【課題】ガラス基板の基板受渡装置にて、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置を提供する。【解決手段】ローラ軸61と直角な方向Xの一直線上に並列して設けられた複数個のローラ部60と、ローラ部の下方にて、一直線上に設けられた伝動部70とで構成されるローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向と平行にして基板搬送方向と直角方向に複数個が設けられ、ローラコンベアモジュールのローラ部上のガラス基板1の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンド40が進入することのできる空間が設けられていること。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

ローラコンベアの末端部に配設され、該ローラコンベアで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板をローラ部上からロボットハンド上に受渡す基板受渡装置において、 1)a)前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、 b)該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、 2)その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、 3)該複数個のローラコンベアモジュールのローラ部上にガラス基板が搬送されて載置された際に、ガラス基板の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入することのできる空間が設けられていることを特徴とする基板受渡装置。

IPC (2)：

H01L 21/677 , B65G 49/07

FI (2)：

H01L21/68 A , B65G49/07 B

F-Term (5)：

5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA13 , 5F031GA02 , 5F031GA53

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

基板処理装置および基板処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-313934 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-330261 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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