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J-GLOBAL ID：200903001730893592
プローブカード
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
小原 肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994137957
Publication number (International publication number)：1995321168
Application date： May. 27, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：
【要約】【目的】 温度変化によるプリント基板の熱的変形を抑制すると共にプローブ針の針先の初期の平坦度を維持し、しかも加熱下におけるプローブ針の酸化を抑制し、高温下であっても常に精度の高い電気的検査を行なうことができるプローブカードを提供する。【構成】 本プローブカードは、プリント基板12のプリント配線16に接続された複数のプローブ針15と、これらのプローブ針15をそれぞれ片持ちする台座14とを備え、各プローブ針15を半導体ウエハWの所定の電極パッドPに接触させて電気的検査を行なうものであり、上記プリント基板12の上面に、その中央部に形成された開口部17を被うように熱伝導性に優れた貫通孔19を有する支持体13を設けると共に、この支持体13の下面に開口部17より小さい台座14を直付けしたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
プリント基板の配線に接続された複数のプローブ針と、これらのプローブ針をそれぞれ片持ちする台座とを備え、上記各プローブ針を被検査体の所定の電極に接触させて電気的検査を行なうプローブカードにおいて、上記プリント基板の上面に、その中央部に形成された開口部を被うように熱伝導性に優れた、貫通孔を有する支持体を設けると共に、この支持体の下面に上記開口部より小さい上記台座を直付けしたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2)：
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