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J-GLOBAL ID：200903001736575134

共焦点光学装置

Inventor： 若井 秀之 ,  安藤 学 ,  守屋 正人 ,  中池 孝昇 ,  須田 江利
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 浜本 忠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996135046
Publication number (International publication number)：1997318879
Application date： May. 29, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 装置のコスト高を生じることなくノイズ光をなくすことができ、計測性能を向上できるようにする。【解決手段】 光源の光が参照光としてホログラムに入射し、ホログラム3はピンホールアレイ4の各ピンホール位置から出射する点光源と等価な光を、上記参照光を回折することにより再生し、この再生光が被計測物体に投光され、その反射光がホログラム3を透過してピンホールアレイ4に集光され、このピンホールアレイ4を通過した光の光量を光検出器アレイ8にて検出するようにした共焦点光学装置において、上記光源からの参照光に直線偏光した光を用い、ホログラム3と被計測物体との間に1/4波長板17を配置し、ホログラムと光検出器アレイの間に偏光ビームスプリッタを配置した構成となっている。

Claim (excerpt)：

光源の光が参照光としてホログラムに入射し、ホログラムはピンホールアレイの各ピンホール位置から出射する点光源と等価な光を、上記参照光を回折することにより再生し、この再生光が被計測物体に投光され、その反射光がホログラムを透過してピンホールアレイに集光され、このピンホールアレイを通過した光の光量を光検出器アレイにて検出するようにした共焦点光学装置において、上記光源からの参照光に直線偏光した光を用い、ホログラムと被計測物体との間に1/4波長板を配置し、ホログラムと光検出器アレイの間に偏光ビームスプリッタを配置したことを特徴とする共焦点光学装置。

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/22

FI (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 D ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/22