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J-GLOBAL ID:200903001745432567
半導体集積回路装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
合田 潔 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995022678
Publication number (International publication number):1996241963
Application date: Feb. 10, 1995
Publication date: Sep. 17, 1996
Summary:
【要約】【目的】 DRAMマクロセルと論理セルとを同一チップに形成し、信頼性がありかつ高速動作が可能な高密度半導体集積回路装置を提供する。【構成】 論理セルと同一チップに集積されるDRAMマクロセル14は、半導体基板と反対導電型のガードリング26と、ガードリング26内のウエル27内に形成されたメモリセルのアレイ42と、電源供給線34と、接地線36と、電源供給線34と接地線36との間に接続されたバイパスキャパシタ70と、を備え、電源供給線34と論理セルの電源供給線とは異なる電源パッドに接続され、接地線36と論理セルの接地線とは共通の接地パッド又は低インピーダンス線で相互接続された、近接した接地パッドに接続される。
Claim (excerpt):
外部配線のための電源パッド、接地パッド及び信号パッドが形成された同一チップの半導体基板に、論理ブロックと、この論理ブロックと接続されるメモリブロックとを形成するようにした半導体集積回路装置にして、前記メモリブロックは、メモリ用キャパシタを含むDRAMセルが配列されたDRAMメモリセルアレイと、電源供給線と、接地線とを備え、前記論理ブロックは、論理回路部と、電源供給線と、接地線とを備え、前記メモリブロックの前記電源供給線及び前記論理ブロックの電源供給線は異なる電源パッドに接続されていることを特徴とする半導体集積回路装置。
IPC (3):
H01L 27/108
, H01L 21/8242
, G11C 11/401
FI (3):
H01L 27/10 681 C
, G11C 11/34 371 K
, H01L 27/10 681 E
Patent cited by the Patent:
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