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J-GLOBAL ID：200903001745958208

レーザビーム加工装置の変形可能ミラー

Inventor： クラウス、ベール ,  ラインハルト、シュミードル ,  ブリギッテ、フライスレーベン
Applicant, Patent owner： ディール、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995124717
Publication number (International publication number)：1996039282
Application date： May. 24, 1995
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 モジュール化され、ビーム形状が最適化され、電気機械的に温度補償され、容易に作動調整でき、作動させる前に再度別の調整をする必要がなくレーザマシンセンタで直接使用できる変形可能なレーザミラーを提供する。【構成】 特にレーザビーム加工装置に用いられる変形可能ミラー(11)であって、少なくとも1個のトランスレータ(19)を有し、このトランスレータ(19)は、ジャケット管(20)の中に包囲された電気機械的なアクチュエータ(23)によって作動される圧力部(21)によって、ミラー板(13)の後側とハウジング(12)との間に固定されており、一方で前記ジャケット管(20)および前記ハウジング(12)の材料と他方で前記圧力部(21)および後端のアダプタ(22)とは、アクチュエータ(23)とともに、ほぼ同等の熱膨張特性を有することを特徴とし、これによって、ピエゾアクチュエータ(23)の熱膨張係数が小さい結果としてハウジングの温度上昇によりミラー板(13)が内方へ曲げられるのを防止できる。

Claim (excerpt)：

特にレーザビーム加工装置に用いられる変形可能ミラー(11)であって、少なくとも1個のトランスレータ(19)を有し、このトランスレータ(19)は、ジャケット管(20)の中に包囲された電気機械的なアクチュエータ(23)によって作動される圧力部(21)によって、ミラー板(13)の後側とハウジング(12)との間に固定されており、一方で前記ジャケット管(20)および前記ハウジング(12)の材料と他方で前記圧力部(21)および後端のアダプタ(22)とは、アクチュエータ(23)とともに、ほぼ同等の熱膨張特性を有することを特徴とするレーザビーム加工装置の変形可能ミラー。

IPC (4)：

B23K 26/06 ,  G02B 5/10 ,  G02B 7/185 ,  G02B 7/192