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J-GLOBAL ID：200903001745967053

磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法

Inventor： 池田 満昭
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Agent (1)： 小堀 益
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996350777
Publication number (International publication number)：1998185713
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 起歪体の異方性を完全に付与し、しかも、大量に処理が可能な製造方法を提供する。【解決手段】 起歪体5に電流を通電しながら炉21中で熱処理することにより起歪体を製造する磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法。本発明の実施の態様として、(1)起歪体が磁歪を有する磁性材料である。(2)磁性材料がマルエージング鋼である、(3)起歪体が非磁性材料上に磁歪を有する磁性膜が形成されている材料である、(4)非磁性材料がSUS304である、(5)磁性膜がNi-Fe合金である、(6)磁性膜がNiめっき膜である、(7)磁性膜形成法がスパッタリング法である、(8)通電する電流によって起歪体表面に発生する磁界の強さは10Oe以上である、ことが挙げられる。

Claim (excerpt)：

起歪体に電流を通電しながら炉中で熱処理することにより起歪体を製造することを特徴とする磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法。