Pat
J-GLOBAL ID：200903001766391429
エアナイフ、基板乾燥装置、基板乾燥方法、及び基板の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 浩三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005342640
Publication number (International publication number)：2007144314
Application date： Nov. 28, 2005
Publication date： Jun. 14, 2007
Summary：
【課題】基板とエアナイフとを相対的に高速で移動しながら、少ないエア消費量で基板をむらなく均一に乾燥させる。【解決手段】エアナイフ20aは、エア吹き出し口23の前方が、基板1とほぼ平行に所定の距離Lだけ伸びて、基板1との間にエアの通り道24を形成している。エア吹き出し口23から吹き出されたエアは、エアの通り道24を通ることにより、基板1の表面に沿って流れる。エア吹き出し口23には、エアをエアの通り道24へ案内する曲面25が設けられている。エア吹き出し口23から吹き出されたエアは、曲面25に案内されて、矢印に示す様にエアの通り道24へ流れる。エアナイフ20aは、エア吹き出し口23の前方と後方とで段差Dを有し、エア吹き出し口の後方と基板1との隙間が、エアの通り道24よりも狭くなっている。エア吹き出し口23から吹き出されたエアが、吹き付け方向と逆方向への流れるのが防止される。【選択図】図2
Claim 1：
エア吹き出し口を有し、該エア吹き出し口から吹き出されたエアを基板へ吹き付けるエアナイフであって、
前記エア吹き出し口から吹き出されたエアが、基板に沿って流れる様に構成したことを特徴とするエアナイフ。
IPC (3)：
B08B 5/00
, H01L 21/304
, G02F 1/133
B08B5/00 Z
, H01L21/304 651L
, H01L21/304 651G
, G02F1/1333 500
2H090HC14
, 2H090HC18
, 2H090JC19
, 3B116AA02
, 3B116AB14
, 3B116BB22
, 3B116CC03
