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J-GLOBAL ID：200903001792312693
力顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994228855
Publication number (International publication number)：1996068800
Application date： Aug. 30, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 静電容量型の変位検出を行う力顕微鏡において、検出動作を安定に行い、かつプローブ周辺部を外側から視認しやすくする。【構成】 プローブ11を先端部に設けたカンチレバー37を備え、プローブの位置変化に伴うカンチレバーの変位に基づいて力を検出する力顕微鏡であり、カンチレバーは中間部両側に捩じれ変形部38を介して本体部36に設けられ、カンチレバーの後部側の一面に可動電極39を設け、かつこの可動電極39に対向する固定電極33aを固定部側に設け、可動電極と固定電極の間の静電容量の変化に基づいてカンチレバーの変位を検出する。捩じれ変形部はカンチレバーの中央部よりも先部側に設けられることが望ましい。
Claim (excerpt)：
力の作用を受けるプローブを先端部に設けたカンチレバーを備え、前記プローブの位置変化に伴う前記カンチレバーの変位に基づいて前記力を検出する力顕微鏡において、前記カンチレバーは中間部両側に位置する捩じれ変形部を介して本体部に設けられ、前記カンチレバーの後部側の一面に第1電極を設け、かつこの第1電極に対向する第2電極を固定部側に設け、前記第1電極と前記第2電極の間の静電容量の変化に基づいて前記カンチレバーの変位を検出することを特徴とする力顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
