Pat

J-GLOBAL ID：200903001833214561

ワーククリーニング方法

Inventor： 桶結 卓司 ,  大内 一男 ,  西田 佳正
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007230245
Publication number (International publication number)：2008109096
Application date： Sep. 05, 2007
Publication date： May. 08, 2008
Summary：

【課題】ワークに付着している異物を粘着テープを用いて的確かつ効率よく除去する。【解決手段】ワークである基板wに付着している異物を狙って局部的に粘着テープTを貼り付け、該粘着テープTを剥離することにより異物を粘着テープTに移し取って基板wから除去する。好ましくは、粘着テープTを非粘着面から押圧部材26で押圧しながら基板表面に沿って押圧部材26を相対移動させるとともに、押圧部材26の相対移動に連動して粘着テープTを粘着テープ供給手段から繰り出しながら基板wに貼り付け、かつ、粘着テープTを剥離して回収する。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

ワークに付着している異物を除去するワーククリーニング方法であって、 ワークに付着している異物を狙って局部的に粘着テープを貼り付け、該粘着テープを剥離することにより粘着テープに異物を移し取ってワークから除去する ことを特徴とするワーククリーニング方法。

IPC (3)：

H01L 21/304 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133

FI (3)：

H01L21/304 641 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

F-Term (20)：

2H088FA17 ,  2H088FA23 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090JD13 ,  5F157AA42 ,  5F157AA72 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157BA10 ,  5F157BA22 ,  5F157DA11 ,  5F157DA21 ,  5F157DB43 ,  5F157DB46 ,  5F157DB51

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• プローブカード用プローブ針の研磨部材およびクリーニング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-301861   Applicant：三菱電機株式会社