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J-GLOBAL ID：200903001833571674

光導波路を用いた焦点検出装置

Inventor： 土肥 正明 ,  池田 順司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996015423
Publication number (International publication number)：1997210619
Application date： Jan. 31, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】小型で簡単な構成の焦点検出装置を提供する。【解決手段】光源21の出射端面203と、ダブルモード導波路28の端面202の中心からわずかにずれた位置27とを、偏光マイクロビームスプリッタ23を挟んで共役な位置に配置する。端面203から出射された直線偏光の照明光は、ビームスプリッタ23で偏向され、集光レンズ25により集光される。被検物体26からの反射光は、集光レンズ25により集光され、ビームスプリッタ23を透過してダブルモード導波路28に入射する。ダブルモード導波路に入射した光の位相分布の非対称性を検出できるように、ダブルモード導波路の長さを設定することにより、被検物体26が集光レンズの焦点に位置する場合と位置しない場合とを検出できる。

Claim (excerpt)：

照明光を出射する照明光学系と、前記照明光を集光して被検物体に照射するとともに、その反射光を集光する集光光学系と、前記照明光と反射光とを分離するために、前記照明光および反射光のうち、一方を透過し、他方を反射する偏向光学系と、前記偏向光学系によって分離された前記反射光を端面から入射させて伝搬するためのダブルモード導波路と、前記ダブルモード導波路を伝搬してきた光の強度分布の対称性を検出するための対称性検出手段とを有し、前記偏向光学系は、前記照明光学系と前記集光光学系との間に配置され、前記ダブルモード導波路の端面の中心からずれた位置と、前記照明光学系の照明光の出射中心とは、前記偏向光学系を挟んで共役な位置に配置されていることを特徴とする焦点検出装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G02B 5/30 ,  G02B 6/12 ,  G02F 1/035

FI (4)：

G01B 11/00 B ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/035 ,  G02B 6/12 J