Pat

J-GLOBAL ID：200903001844084074

高周波励起形レーザ発振器の電極

Inventor： 鈴木 正弘
Applicant, Patent owner： 株式会社アマダ
Agent (1)： 三好 秀和 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991159347
Publication number (International publication number)：1993013839
Application date： Jul. 01, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 この発明は高周波励起形レーザ発振器の電極の改良に関するもので、放電の長期安定化を図るものである。【構成】 図1のようにガスレーザの発振器に、大気とレーザガスを隔離する高い誘電率からなる平板状の誘電体5,7を対向して設け、その大気側表面に、それぞれ金属電極9,11を当接して設け、レーザガス側表面に、それぞれ均一で耐久性の大きな無機質部材13,15を被覆してなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ガスレーザの発振器に、大気とレーザガスを隔離する高い誘電率からなる平板状の誘電体電極を対向して設け、その大気側表面に、それぞれ金属電極を当接して設け、レーザガス側表面に、それぞれ耐久性の大きな無機質部材を被覆してなることを特徴とする高周波励起形レーザ発振器の電極。

IPC (2)：

H01S 3/038 ,  H01S 3/134

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-224379
  
• 特開昭62-273786