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J-GLOBAL ID:200903001844887991

微粒子測定方法及び微粒子測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小山 有 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994220629
Publication number (International publication number):1996086738
Application date: Sep. 14, 1994
Publication date: Apr. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】 微粒子の径、濃度だけでなく微粒子の屈折率等も測定できる測定方法と装置を提供する。【構成】 微粒子測定装置はレーザ光源1からのレーザ光を偏光解消板2を介して測定対象空間Sに照射する。この測定対象空間Sの左右に2つの受光系10,20を配置している。一方の受光系10には、アパーチャ11、レンズ系12、アパーチャ13、偏光フィルタ14、波長選択フィルタ15及び光電変換素子16を配置し、他方の受光系20には、アパーチャ21、レンズ系22、アパーチャ23、集光レンズ24、偏光プリズム25を配置し、更にこの偏光プリズム25から分岐して波長選択フィルタ26,27及び光電変換素子28,29を配置している。
Claim (excerpt):
3つの異なる偏光成分を含むレーザ光を照射光として測定対象空間に照射し、この測定対象空間からの散乱光を前記3つの異なる偏光成分毎に分離し、各偏光成分毎に散乱光を光電変換素子に入射せしめ、各偏光成分毎の散乱光強度を求め、これら3つの散乱光強度の値から偏光パラメータを求め、この偏光パラメータの時系列変化と予め理論的に求めておいた既知の物質の偏光パラメータの時系列変化とを比較することで、測定対象空間の微粒子の測定を行うようにしたことを特徴とする微粒子測定方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-185336

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