アルカリ可溶性樹脂及びこれを含むフォトレジスト組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996033745
Publication number (International publication number)：1997230593
Application date： Feb. 21, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】解像力及び耐熱性がよく、しかも保存安定に優れ、熱処理に際して昇華物の発生しないフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】フェノール類と芳香族アルデヒドとの重縮合物であって環状オリゴマーの含有量が2重量%以下のものを、アルカリ可溶性樹脂の一部として用い、且つフォトレジスト組成物の固形物に占める環状オリゴマー量を0.2重量%以下とする。

Claim 1：

一般式(1)で示されるフェノール類と、一般式(2)で示される芳香族アルデヒドを含むカルボニル化合物との重縮合物であって、環状オリゴマーの含有量が2重量%以下であることを特徴とする芳香族アルデヒド系アルカリ可溶性樹脂。【化1】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシ基を示し、mは0〜3の整数を示す。なお、mが2又は3の場合には、複数のR1 は互に同一でも異っていてもよい。)【化2】(式中、R2 は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシ基を示し、nは0〜5の整数を示す。なお、nが2以上の場合には、複数のR2 は互に同一でも異っていてもよい。)

IPC (3)：

G03F 7/023 511 , C08G 8/04 NBZ , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/023 511 , C08G 8/04 NBZ , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-091176 Applicant：三菱化成株式会社
特開平3-125152
特開昭60-097347

Show all

Cited by examiner (8)

ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-091176 Applicant：三菱化成株式会社
特開平3-125152
レジストパターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-248044 Applicant：富士通株式会社

Show all

Return to Previous Page