Pat
J-GLOBAL ID:200903001860910189

材料の内部組織観察方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008110548
Publication number (International publication number):2009264738
Application date: Apr. 21, 2008
Publication date: Nov. 12, 2009
Summary:
【課題】試料内部の広い範囲に亘る不純物の微量分析とともに内部欠陥の状態を判断し得る溶媒難溶解性材料の内部組織観察方法を提供する。【解決手段】グロー放電質量分析法により難溶解性材料からなる被測定物を研削すると共に研削面の元素濃度を測定し、元素濃度測定後の研削面の表面形状を触針式表面粗さ計により測定し、得られた元素濃度および表面形状の測定結果から被測定物の内部欠陥の状態を判断する材料の内部組織観察方法。【選択図】なし
Claim (excerpt):
グロー放電質量分析法により難溶解性材料からなる被測定物を研削すると共に研削面の元素濃度を測定し、次いで元素濃度測定後の研削面の表面形状を触針式表面粗さ計により測定し、得られた元素濃度および表面形状の測定結果から被測定物の内部欠陥の状態を判断する材料の内部組織観察方法。
IPC (2):
G01N 23/225 ,  G01N 27/68
FI (2):
G01N23/225 ,  G01N27/68 Z
F-Term (13):
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001KA01 ,  2G001KA03 ,  2G001KA08 ,  2G001NA07 ,  2G041AA10 ,  2G041CA01 ,  2G041DA07 ,  2G041DA16 ,  2G041EA01 ,  2G041LA08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
  • 特開2004- 61163号公報
  • 試料表面測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2002-324972   Applicant:カシオ計算機株式会社

Return to Previous Page