力変位センサ付カンチレバー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996119302
Publication number (International publication number)：1997304409
Application date： May. 14, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】レバーのたわみを良好にし、計測感度を改善した力変位センサ付カンチレバーを提供することにある。【解決手段】支持部1からレバー部2が片持ち梁式に延びており、該レバー部2の基部にくびれ部4a、4bが形成されている。また、該くびれ部4a、4bに対応するレバー部2上に、例えばU字状の抵抗層5からなる変位検出器が構成されている。前記くびれ部4a、4bは、レバー部2の幅方向を切り欠いて形成してもよいし、その厚さを薄くして形成してもよい。この発明によれば、前記レバー部の先端に設けられたチップ(探針)に小さな力が働いても前記レバー部はたわみを生ずるので、高感度の力変位センサ付カンチレバーを提供することができるようになる。

Claim (excerpt)：

支持部に片持ち梁式に支持されたレバー部を有する力変位センサ付カンチレバーにおいて、前記レバー部の前記支持部付近に、くびれ部を設けたことを特徴とする力変位センサ付カンチレバー。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01L 1/22

FI (2)：

G01N 37/00 G , G01L 1/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

半導体加速度検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-246052 Applicant：三菱電機株式会社
特公平4-071343
特許第2940643号

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