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J-GLOBAL ID:200903001867780043

多層膜分光反射鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若林 忠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991338550
Publication number (International publication number):1993172999
Application date: Dec. 20, 1991
Publication date: Jul. 13, 1993
Summary:
【要約】【構成】 ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の重元素層にNi化合物または混合物を使用したことを特徴とする多層膜分光反射鏡。【効果】 Ni/C多層膜に比較してX線反射特性及び耐熱性が向上する。
Claim (excerpt):
ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の重元素層にNi化合物あるいは混合物を使用したことを特徴とする多層膜分光反射鏡。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 多層膜反射鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-199711   Applicant:株式会社ニコン

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