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J-GLOBAL ID:200903001871341003

グレートーンマスクの欠陥検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤村 康夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003103779
Publication number (International publication number):2004309327
Application date: Apr. 08, 2003
Publication date: Nov. 04, 2004
Summary:
【課題】正常パターンやあらゆる修正パターンの判定を行う場合について、グレートーン部がユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かの検査(判定)を容易に行うことができるグレートーンマスクの判定(検査、保証)・修正方法を提供する。【解決手段】透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクの欠陥判定方法であって、(1)前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、(2)前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、(3)前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、を有することを特徴とするグレートーンマスクの欠陥検査方法。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクの欠陥検査方法であって、 前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、 前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、 前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、 を有することを特徴とするグレートーンマスクの欠陥検査方法。
IPC (4):
G01N21/956 ,  G01N21/88 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027
FI (6):
G01N21/956 A ,  G01N21/88 J ,  G03F1/08 A ,  G03F1/08 G ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 502P
F-Term (10):
2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051ED14 ,  2H095BA12 ,  2H095BB01 ,  2H095BD04 ,  2H095BD26
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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